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高速光學(xué)掃描輪廓儀UltraView

UltraView是一款以白光干涉技術(shù)為原理，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，達(dá)到亞納米級精準(zhǔn)量測的光學(xué)檢測儀器。

關(guān)鍵詞：

原子力顯微鏡APEX-OL | 原子力顯微鏡APEX-IL

所屬分類：

產(chǎn)品描述

簡介

　　UltraView是一款以白光干涉技術(shù)為原理，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，達(dá)到亞納米級精準(zhǔn)量測的光學(xué)檢測儀器。

　　埃米儀器研發(fā)的光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、高校科研所等領(lǐng)域中。

 

技術(shù)參數(shù)

1、相機像素：500萬

2、垂直范圍：400μm

3、掃描速度：

         · 最大相機分辨率掃描速度：11.4~218μm/s

         · 最大掃描速度：400μm/s

 4、被測物體反射率：0.5%~100%

 5、表面形貌重復(fù)性：＜0.15nm

 6、1-?臺階精度重復(fù)性：

         · 臺階高度0.4 μm     <1 nm

         · 臺階高度12 μm     <3 nm

         · 臺階高度100 μm     <20 nm

 7、工作環(huán)境

         · 允許工作溫度：10°C~35°C

         · 儲藏溫度：0°C~45°C

         · 相對濕度：10%~80%

         · 電源：AC（100-240V/50-60Hz）

 

產(chǎn)品功能

  1. 樣件測量能力
  2. 自動測量功能
  3. 編程測量功能
  4. 數(shù)據(jù)處理功能
  5. 數(shù)據(jù)分析功能

 

 

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