產(chǎn)品中心
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結(jié)構(gòu)的高精密高速檢測和量測
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應(yīng)用于晶圓廠的在線自動化AFM量測系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測出晶圓缺陷，分辨率可達納米級。同時可提供高達10mm的線性長程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應(yīng)用于晶圓廠的在線自動化AFM量測系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測出晶圓缺陷，分辨率可達納米級。同時可提供高達10mm的線性長程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
應(yīng)用案例
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結(jié)構(gòu)的高精密高速檢測和量測
關(guān)于我們
南京埃米儀器科技有限公司是一家致力于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測設(shè)備的技術(shù)企業(yè)。公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦芯片制造過程中晶圓表面粗糙度、CMP 輪廓、光刻及刻蝕中的三維結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵指標的在線檢測和量測，助力客戶大幅提高產(chǎn)品的良率、縮短工藝的研發(fā)進程。
公司擁有一支以國家級人才為主的研發(fā)核心團隊，目前已與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國內(nèi)外科研院所、機構(gòu)建立密切合作關(guān)系。依托公司核心團隊多年技術(shù)儲備，聚焦高端量測產(chǎn)品開發(fā)，包含用于芯片生產(chǎn)過程控制的超快高精密原子力顯微鏡在線量測設(shè)備及高端混合技術(shù)量測設(shè)備。
新聞資訊
在線留言
請輸入您要咨詢的內(nèi)容，我們會盡快與您取得聯(lián)系！