產(chǎn)品中心
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級(jí)三維結(jié)構(gòu)的高精密高速檢測(cè)和量測(cè)
原子力顯微鏡APEX-OL
APEXOL-1000帶來(lái)埃米級(jí)別的掃描精度，同時(shí)可提供相位，電場(chǎng)，磁場(chǎng)和導(dǎo)電性能的測(cè)量。為實(shí)驗(yàn)室提供快速且高精度的量測(cè)數(shù)據(jù)。
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應(yīng)用于晶圓廠(chǎng)的在線(xiàn)自動(dòng)化AFM量測(cè)系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測(cè)出晶圓缺陷，分辨率可達(dá)納米級(jí)。同時(shí)可提供高達(dá)10mm的線(xiàn)性長(zhǎng)程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應(yīng)用于晶圓廠(chǎng)的在線(xiàn)自動(dòng)化AFM量測(cè)系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測(cè)出晶圓缺陷，分辨率可達(dá)納米級(jí)。同時(shí)可提供高達(dá)10mm的線(xiàn)性長(zhǎng)程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
應(yīng)用案例
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級(jí)三維結(jié)構(gòu)的高精密高速檢測(cè)和量測(cè)
關(guān)于我們
南京埃米儀器科技有限公司是一家致力于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測(cè)設(shè)備的技術(shù)企業(yè)。公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶(hù)，產(chǎn)品聚焦芯片制造過(guò)程中晶圓表面粗糙度、CMP 輪廓、光刻及刻蝕中的三維結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵指標(biāo)的在線(xiàn)檢測(cè)和量測(cè)，助力客戶(hù)大幅提高產(chǎn)品的良率、縮短工藝的研發(fā)進(jìn)程。
公司擁有一支以國(guó)家級(jí)人才為主的研發(fā)核心團(tuán)隊(duì)，目前已與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國(guó)內(nèi)外科研院所、機(jī)構(gòu)建立密切合作關(guān)系。依托公司核心團(tuán)隊(duì)多年技術(shù)儲(chǔ)備，聚焦高端量測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，包含用于芯片生產(chǎn)過(guò)程控制的超快高精密原子力顯微鏡在線(xiàn)量測(cè)設(shè)備及高端混合技術(shù)量測(cè)設(shè)備。
新聞資訊
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品主要應(yīng)用在集成電路芯片制造良率檢測(cè)、半導(dǎo)體材料的表面微結(jié)構(gòu)量測(cè)和缺陷檢測(cè)
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