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應(yīng)用領(lǐng)域
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原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應(yīng)用于晶圓廠的在線自動(dòng)化AFM量測(cè)系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測(cè)出晶圓缺陷，分辨率可達(dá)納米級(jí)。同時(shí)可提供高達(dá)10mm的線性長(zhǎng)程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
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